procédé(s)

Une salle blanche (ou plus exactement salle propre selon la norme ISO 14644-1) est une pièce ou une série de pièces où la concentration particulaire est maîtrisée afin de minimiser l’introduction, la génération, la rétention de particules à l’intérieur, généralement dans un but spécifique industriel ou de recherche scientifique. Les paramètres tels que la température, l’humidité et la pression relative sont également maintenus à un niveau précis (définition selon la norme ISO 14644-1).

wwsweb02

 

La technique de lithographie + gravure est le procédé le plus répandu pour la réalisation de circuits semi-conducteurs. La lithographie consiste à altérer une résine sensible par une source à travers un masque. La photolithographie est le procédé historique utilisant un rayonnement en lumière visible et une résine photosensible. Avec la miniaturisation croissante les techniques ont évolué vers l’utilisation de rayonnement moins sujet à la diffraction : lithographie UV, extrême UV, Deep UV (DUV), rayons X, lithographie électronique, lithographie ionique (FIB), lithographie champ proche (STM/AFM).

La résine utilisée dépend essentiellement du type de rayonnement utilisé, on distingue deux types : les résines positives (les parties insolées disparaissent après révélation), et les résines négatives. La résine est généralement déposée par spin coating.

La gravure permet le transfert des motifs imprimés dans la résine. On distingue les transferts soustractifs (gravure humide généralement isotrope, gravure sèche par érosion/sputtering/pulvérisation cathodique, gravure ionique réactive) et les transferts additifs (lift-off, croissance électrolytique).

via Fabrication des dispositifs à semi-conducteurs — Wikipédia

 

 

Advertisements

Laisser un commentaire

Choisissez une méthode de connexion pour poster votre commentaire:

Logo WordPress.com

Vous commentez à l'aide de votre compte WordPress.com. Déconnexion / Changer )

Image Twitter

Vous commentez à l'aide de votre compte Twitter. Déconnexion / Changer )

Photo Facebook

Vous commentez à l'aide de votre compte Facebook. Déconnexion / Changer )

Photo Google+

Vous commentez à l'aide de votre compte Google+. Déconnexion / Changer )

Connexion à %s